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电子工业废气VOCs排放特征及防治对策探讨
发布时间:2019-12-03 11:02

VOCs对大气质量和人体健康的危害较大,对该类污染物进行有效控制具有重要意义。本文分析了电子工业废气VOCs排放特征,对VOCs的防治从源头控制、清洁生产、末端治理、总量控制、科学管理等方面提出了建议。

1 VOCs的环境危害

VOCs是空气中普遍存在且组成复杂的一类有机污染物的统称,主要包括烷烃、烯烃和芳香烃以及各种含氧烃、卤代烃、氮烃、硫烃、低沸点多环芳烃等物质,简称VOCs(volatileorganiccompounds)。在美国EPA优先控制的187种污染物中有33种属于挥发性有机物。VOCs对大气造成的危害主要有3个方面。(1)部分具有毒性和致癌性,危害人体健康;(2)VOCs中的碳氢化合物与氮氧化合物在紫外线的作用下反应生成臭氧,可导致大气光化学烟雾事件发生,危害人类健康和植物生长;(3)参与大气中二次气溶胶的形成,形成的二次气溶胶多在细颗粒,不易沉降,能较长时问滞留于大气中,对光线的散射力较强,从而显著降低大气能见度。目前我国大部分城市大气环境已呈现区域性霾污染、臭氧及酸雨等三大复合型污染特点,而VOCs是极重要的助推剂之一。

电子工业中VOCs排放特征

2.1电子行业分类

电子产品产业链可分为上、中、下三个层次:上面的层次是终电子整机产品即电子终端产品,例如雷达、通信、广播电视、计算机、视听等设备,它们的用户是国民经济的各个领域和千家万户的老百姓;中问层次是成百上千种的电子基础产品,包括电子元件、半导体器件、电子真空器件、光电子器件等,它们经过组合装配便形成了各种电子终端产品;下面的层次是支撑着电子终端产品组装和电子基础产品生产的电子专用材料等,它们是电子基础产品的基础。因此,电子工业一般可分为电子专用材料,半导体器件,电子元件及印制电路板,电真空器件、平板显示器件、光电子器件,电子终端产品几个方面。

2.2电子工业废气VOCs产生环节及污染物类型

VOCs排放涉及涂装行业、医药、石油化工行业、涂料油墨染料生产、家具制造业、印刷业、干洗业、电子工业、合成革与人造革等行业。典型电子工业废气VOCs产生环节及主要污染物情况见表1。

电子工业中的VOCs种类常见的有30多种,主要来自半导体器件、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用溶剂型涂料、清洗工艺(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、电路板清洗、电子组件清洗等)使用有机脱脂剂、脱水剂,感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂,去光刻胶类化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA则属于高沸点的硫类和胺类之有机溶剂。在日本电机、电子行业VOCs排放量排名位居前二十名的物质群依次是异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯。

                     

电子工业废气VOCs排放特征及防治对策探讨

                                                          

2.3电子工业废气VOCs排放主要特点

电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类多,组分复杂。一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体等。

3 VOCs污染防控对策建议

3.1加强源头控制

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